● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W

● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W

● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W

● 射頻源輸出頻率：13.56MHz

● 等離子直流電源

● 輸入電壓：220V,50Hz

● 直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟

● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長

● 您可以訂購額外的石英腔體，用于備用

● 如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點擊下面圖片了解詳情）

● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片

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● 此設(shè)備不包含真空泵

● 您可以點擊下方圖片了解真空泵信息

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● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體

● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體

353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

8kg（不含泵）

CE認證

● 一年保修，終身技術(shù)支持。

● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

                    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點擊查看售后服務(wù)承諾書。

等離子清洗機工作原理